利,ASML同Nikon、等光刻机公司几乎同时购买了BSEC的公司发明专利,每台支付4000到55000美元不等的专利使用费,相当于每台光刻机售价的1%。
93年8月,GCA同BSEC签订了磁悬浮式双工作台系统专利和ArF准分子激光器专利互换协定,GCA不需要支付磁悬浮式双工作台系统的专利使用费。
一台GCA2500B光刻机的市场售价高达600万美元,高端光刻机生产大户GCA占了大便宜。
1995年,BSEC收取了磁悬浮式双工作台系统的专利使用费920万美元,相当于7500万元人民币,占了1995年净利润的6成。
1996年,BSEC预计将收取1300万美元的专利使用费。
前世,ASML就是依靠双工作台系统和浸没式系统打败了Nikon。
如今,购买了BSEC的磁悬浮式双工作台系统专利技术,加上BSEC的控股股东孙健也是ASML的第二大股东,ASML就没有动力继续研发双工作台系统了,集中人力和财力研发更先进的光刻机。
1995年2月,ASML生产的第一台PAS 5500到达三星的工厂里,三星用它开发了一项0.25微米工艺用于生产16MB内存颗粒,不久之后韩国另外一家内存厂商海力士也开始使用PAS 5500。
95年3月24日,ASML公开发行1000万股新股在阿姆斯特丹证交所上市,每股5欧元,孙健因为抽不出时间,余建国代表TIC出席了上市敲钟仪式。
有了近5000万欧元的融资,ASML如虎添翼,董事会决定,在研发和增长潜力方面继续投入资金,准备在800名员工的基础上再招聘200人,董事会听取孙健的建议,ASML承诺实施股票期权计划,让所有员工分享公司成长红利。
1996年初,ASML研发成功250nm制程工艺的光刻机,仅落后于G制程工艺,超过,处于行业第三位。
ASML如今总股本8000万股,每股净资产4.55美元,ASM持有1750万股,占股21.88%,为第一大股东;TIC持有1500万股,占股18.75%,为第二大股东;飞利浦持有1250万股,占股15.63%,为第三大股东;蔡司集团持有500万股,占股6.25%,为第四大股东……
ASML在阿姆斯特丹证交所上市交易后,飞利浦出售了250万股ASM